応用物理学会　薄膜・表面物理分科会・シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会「ゲートスタック研究会　―材料・プロセス・評価の物理―」（第１４回研究会）

発表資料一覧
幸田みゆき	価電子揺動Ce酸化物を利用したhigh-k膜中の固定電荷の抑制