2007春 応用物理学会
発表資料一覧
川那子高暢
希土類複合酸化物(La-Sc-O)を用いたHigh-k ゲート絶縁膜の作製と電気特性評価
Characterization of High-k Gate Dielectrics using Rare earth Composite Oxides
佐藤創志
in situ ラジカル窒化LaOxNy 膜の耐熱性に関する検討
Thermal Stability of Lanthanum Oxynitride Thin Film Fablicated by in-situ Radical Nitridation
大石義久
Niシリサイドショットキー障壁の熱処理依存性
Ni Silicide Schottky Barrier Height Measurement on Annealing Condition
足立学
La
2
O
3
/Metal ゲートスタック構造での金属の実効仕事関数
Effective Work Function in La
2
O
3
/Metal Gate Stack Structure